2023年7月6日学术报告

标题：基于原子力显微镜的大尺寸复杂形状光学器件原位纳米测量技术

报告人：施佳林，副研究员，中国科学院沈阳自动化研究所，瑞士联邦理工大学

时间：7月6日 下午1:30-3:30

地点：线上，腾讯会议：587-510-095

报告简介：

大尺寸精密光学元件，例如针对EUV和DUV光刻机的大型光学元件，对其表面粗糙度具有纳米甚至亚纳米量级的测量要求。原子力显微镜是超大曲面镜片纳米尺度表面形貌唯一的测量工具。然而受限于目前原子力显微镜对被测样品尺寸的限制，需要将大尺寸光学元件搬运到原子力显微镜设备中进行检测，存在应力释放、重定位等问题，严重影响了光学元件的制造效率。此外，超大尺寸光学元件由于尺寸巨大，传统原子力显微镜样品台无法装载和测量。针对大尺寸光学元件检测面临的问题，提出了基于原子力显微镜的大口径光学镜面的原位纳米测量方法，突破低噪声超高速纳米测量、三维纳米减振云台设计及其振动主动控制等关键技术难题，实现原位高精度形貌（包括划痕、缺陷）以及粗糙度等参数的精确测量，为大尺寸光学元件的研发提供技术和装备支撑。

报告人简介：

施佳林，中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室，微纳米机器人课题组副研究员，硕士生导师。2013于中国科学院沈阳自动化研究所攻读博士学位，2016年以优秀博士生身份提前留所工作，2018年博士毕业，2020年起担任副研究员。主要研究方向为微纳米检测/操控技术与仪器，发表论文30余篇；申请发明专利11项，国际专利2项；以负责人身份承担国家自然科学基金青年、面上项目、中国博士后面上项目、中科院仪器研发项目等课题；以项目执行人身份策划并获批国自然重大仪器2项、国家重点研发计划项目2项；获纳米精测国际会议最佳会议论文奖、最佳海报奖等4项；获中国自动化学会优秀博士论文奖（全国10篇）、中国科学院沈阳分院优秀科技青年人才奖等奖项；获批科技部青年科技人才中长期出国培训专项项目（全国共32项），目前于瑞士联邦理工大学（EPFL，2023年QS世界大学排名第16）生物与纳米仪器实验室（LBNI）学习交流，进一步提升在高端纳米精测仪器研发与应用的水平。